氮化鋁

       氮化鋁有較高的傳熱能力，物質在惰性的高溫環境中非常穩定，在空氣中，溫度高於
700℃時，物質表面會發生氧化作用。在室溫下，物質表面仍能探測到5-10奈米厚的氧化
物薄膜。直至1370℃，氧化物薄膜仍可保護物質。但當溫度高於1370℃時，便會發生大
量氧化作用。直至980℃，氮化鋁在氫氣及二氧化碳中仍相當穩定，目前廣泛的運用在散
熱基板及半導體製程。
        氮化鋁大份作成薄片零件，由於材料相當的硬脆在CNC加工過程是相對的困難，如何
成型已成為陶瓷加工廠商最難意題，半導體產業中最常見的Shadow ring是各晶圓廠相爭克
服的重要項目。